- 압력센서 Cell

MEMS형 압력센서 압력을 왜응력으로부터 변환하는 다이어프램과 다이어프램에서 발생하는 동력력을 전기신호로 변환하는 부분으로 구성되었으며 , 크리프현상이 없고 직선성이 우수하며 소형 . 경량으로 진동에도 매우 강하며 , 기계식압력센서보다 고감도 , 고신뢰성인 것이 특징이다